第十四届中国半导体设备材料及核心部件展 | 2026.08.31 – 09.02 | 无锡太湖国际博览中心
半导体制造向更先进制程持续演进,对管路系统的洁净度、耐化学品、低析出与可靠性提出极致要求。8 月 31 日–9 月 2 日,第十四届 CSEAC 中国半导体设备材料及核心部件展将在无锡太湖国际博览中心启幕。上海倍润液压设备有限公司(KUNGFLEX)将携面向半导体全工艺段的流体连接解决方案,亮相 C1-72 展位。
半导体超纯气体(UHP)管路系统:316L 电解抛光管 + 双卡套接头 + 钢管总成 + 快速接头
超高真空(UHV)关键组件:316L 金属波纹管、KF/ISO 真空法兰
耐化学品软管:派克 919J / 国产 919J PTFE 软管(FDA 合规,-40~232°C,低析出,可蒸汽清洁)
通用低压软管:派克 801 Push-Lok、SQ300 系列(非洁净区适用)
超高压管路:KUNGFLEX 6-2W 超高压管(高压气体 / 测试台 / 设备高压管路)
CVD / PVD 沉积设备管路
刻蚀(Etch)工艺管路
湿法清洗 / CMP 研磨浆液输送
特气输送(Gas Box / VMB / VPDB)
化学品供应系统(CDS / SDS / BCDS)
设备冷却(Chiller)与旋转连接
双层产品架构:国产自产线(规模化 / 快交付 / 成本)+ 进口甄选线(极端温压 / 洁净 / 阻燃 / 进口替换)
流体管路总成及成套解决方案:对工况风险负责——选型准确、接口匹配、密封可靠、批次可追溯、即装即用
自有品牌 KUNGFLEX;ISO9001 质量体系认证;多项软管/接头专利(旋转接头、防爆软管、自动切换接头)
8 月 31 日–9 月 2 日,无锡太湖国际博览中心,上海倍润液压(KUNGFLEX)C1-72 展位,诚邀半导体设备厂商、工艺工程师、采购与质量负责人莅临参观指导,现场对接选型与样品测试。