温度范围：-254℃ ~ +538℃
最高工作压力：620 bar（9000 psi）
光洁度满足SEMI F20 规范
KUNGFLEX 高纯气体钢管采用 316L / 316L VAR 高纯无缝不锈钢基材，经冷轧固溶、电解抛光处理，内壁光洁度满足 SEMI F20 规范，低微粒析出、低放气率。适用于半导体制程超高纯特种气体输送管路，可配套 VCR 接头、双卡套接头组装成洁净气路系统。
